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基于连续激光源的集成电路失效定位系统及方法

857   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:34
本发明公开了一种基于连续激光源的集成电路失效定位系统及方法，包括：基于红外激光器照射待测电路样品，获取所述待测电路样品的扫描数据；基于红外相机对所述待测电路样品进行拍照，获取电路布局图；将所述扫描数据与所述电路布局图进行对照，获得失效定位点。本发明解决了集成电路阻性失效的失效点定位问题，实现了集成电路阻性失效和晶体管栅极破损的精确、快速定位。提高了集成电路失效定位的测试效率和定位精度，为集成电路失效分析的研究提供了技术支持。
声明：
“基于连续激光源的集成电路失效定位系统及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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