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分栅快闪存储器及避免其编程串扰失效的方法

1013   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:34
本发明提供了一种分栅快闪存储器及避免其编程串扰失效的方法，包括：提供管芯，所述管芯包括衬底、形成于所述衬底上的隧穿氧化层；在所述隧穿氧化层表面形成字线层，所述字线层的厚度H0＝H1+ΔH，其中，H1为制程设定的需要形成的字线层厚度，ΔH为制程监控测试中量测出的字线层厚度H2与实际的字线层厚度H3的差值。本发明所提供的分栅快闪存储器及避免其编程串扰失效的方法，通过数据分析分析出制程监控测试中量测的字线层厚度与实际字线层厚度之间的差值，让字线层在形成时，补偿这一差值，使字线层的厚度达到所需要的要求，从而避免分栅快闪存储器由于字线层厚度过薄而出现编程串扰失效。
声明：
“分栅快闪存储器及避免其编程串扰失效的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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