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芯片失效测试结构、包括其的芯片及应用其的测试方法

631   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:33
本发明涉及芯片失效测试结构、包括其的芯片及应用其的测试方法，涉及芯片制造封装测试技术，通过芯片内部的多层金属层、位于金属层之间的通孔、芯片表面的焊垫、封装基板上的焊盘以及位于焊垫与焊盘之间的凸块组成测试通路，通过测试金属层、焊垫与焊盘中的任意两者之间的电学参数值判断芯片是否连接失效，并精确定位连接失效的位置，整合了晶圆制造工艺及封装厂倒装焊封装测试工艺的测试结构，使倒装焊封装之后芯片的可靠性测试更加简便。
声明：
“芯片失效测试结构、包括其的芯片及应用其的测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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