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衬底的激光热处理中即时失效的快速检测

1041   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:33
本发明公开了一种热处理系统(10),该热处理系统包括以激光器波长发射光的激光阵列(34),衬底支撑,设置在所述源和所述衬底支撑之间并且利用激光辐射源发射的光在衬底的衬底平面上形成直线光束的光学片(48、52、62、64、66、70),以及扫描装置,其用于实现所述直线光束在贯穿所述直线光束的纵轴的方向上相对于所述衬底的移动。该系统进一步包括包围所述光学片的壳体(68),设置在所述壳体内侧用于感测环境光级别的光检测器(81),连接至激光辐射源的电源(100),以及控制器(90),其管理所述电源并响应所述光检测器(81),用于在所述光检测器的输出增加超过阈值环境级别时中断所述电源。
声明：
“衬底的激光热处理中即时失效的快速检测” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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