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样品失效分析方法

661   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:31
一种样品失效分析方法,包括:获取样品的二次电子图像;从所述二次电子图像中选出作为参照的基准子图形,以及待分析子图形;沿同一方向扫描基准子图形和待分析子图形的灰度,获取基准子图形和待分析子图形的二次电子强度曲线;比较基准子图形的二次电子强度曲线和待分析子图形的二次电子强度曲线,确定待分析子图形是否存在缺陷。用二次电子强度曲线表征二次电子图像,即使有微小的缺陷,也可以通过二次电子强度表示出来;而且由于二次电子强度曲线对灰度变化比较敏感,即使金属互连线以及栓塞由于使用低介电常数金属而导致二次电子图像的分辨率降低,也可以用二次电子强度曲线将二次电子图像表示出来,二次电子强度曲线不会受分辨率变化的影响。
声明：
“样品失效分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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