本发明提供了一种
芯片固定装置及制备失效分析样品的方法,通过将芯片样品贴附于芯片固定装置上,通过固定芯片样品提供化学研磨过程中需要的反摩擦力和反离心力,实现自动化学研磨,从而实现批量自动制备失效分析样品,提高了失效分析样品预处理的效率,提高了失效分析样品制备的成功率,同时节省了人力资源;同时,在压力调节装置中设置有弹簧,通过调节阀调节弹簧的松紧,从而调节施加在化学研磨平台上的压力,实现化学研磨速度的调节,提高了化学研磨的效率。
声明:
“芯片固定装置及制备失效分析样品的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)