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栅氧化层失效分析方法

1081   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:31
本发明公开的一种栅氧化层失效分析方法，通过采用具有一定能量的离子束对已经制备好的TEM样品进行轰击，使得TEM样品中的Poly非晶化，从而不会在透射电子显微镜中呈现出Poly的晶格衬度，而重金属的衬度依然保留，从而可以在透射电子显微镜下明确观察到重金属污染的位置并顺利地进行元素分析，进而有效的提高栅氧化层失效分析的效率。
声明：
“栅氧化层失效分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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