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逻辑芯片漏电失效分析方法

813   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:30
本发明提供一种逻辑芯片漏电失效分析方法，属于半导体制造技术领域，逻辑芯片漏电失效分析方法包括：提供一设置有至少两个栅极结构的晶体管结构的测量样品，所述测量样品中的晶体管结构存在亮电压对比缺陷；通过给一部分的所述栅极结构施加工作电压，并给剩余部分的所述栅极结构提供0电压，以对所述测量样品进行纳米探针电性测试，从而定位出所述晶体管结构具体的漏电失效位置，实现了逻辑芯片漏电失效分析时的精确定位，其有利于找到引起漏电失效问题的真因，从而有利于在制程优化时得到有效的优化方法。
声明：
“逻辑芯片漏电失效分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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