本申请涉及失效分析技术领域,具体公开一种器件失效分析定位方法,包括:对扫描探头进行校准,获取校准数据;控制扫描探头对待测器件进行扫描,并获得第一参数信息,第一参数信息用于表征待测器件扫描高度平面的电磁场信息;根据第一参数信息和校准数据,确定待测器件目标高度平面的电磁场信息;根据待测器件目标高度平面的电磁场信息,确定待测器件表面的电学分布;根据待测器件表面的电学分布,确定待测器件的失效位置。基于电磁注入和探测的原理,结合待测器件表面的电磁场信息实现对待测器件的失效位置的分析,相对于传统的失效分析方法而言,成本较低,且无需对待测器件进行破坏,整体失效定位方法可靠性较高。
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