合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 半导体器件的失效分析方法

半导体器件的失效分析方法

773   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:29
本发明关于一种半导体器件的失效分析方法，其包括步骤：去除半导体器件背面的铜层；对半导体器件背面的硅层进行减薄；及使用微光显微镜(Emission？Microscope，EMMI)和/或镭射光束诱发阻抗值变化测试(OBIRCH)电性定位设备定位半导体器件背面的失效点。本发明半导体器件的失效分析方法通过通过对半导体器件的背面进行除铜、硅层减薄及失效点定位，节约了时间，提高了效率及成功率。
声明：
“半导体器件的失效分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：电力联结金具失效分析方法
下一个：对失效芯粒的自动分析方法及系统

与 “半导体器件的失效分析方法” 相关技术

▪ 钨冶炼硫酸钠废水资源化处理的方法
▪ 铝酸钙精炼渣的制备方法及其应用
▪ 铝业冶炼用碳足迹测算装置及方法
▪ 石墨化阴极及制备方法、铝电解槽、铝电解方法
▪ 富锂电解质提锂废渣回收利用的方法
▪ 快速熔炼中频炉
▪ 真空炉熔炼室内中频炉体翻转支撑装置
▪ 功能性含氟纳米磁珠的制备方法及应用
▪ 低密度高导热铜基石墨热沉材料的制备方法
▪ 地下铲运机及其智能驾驶系统和控制方法

相关失效分析设备推荐

无线多点土壤墒情监测系统 土壤监测仪
岛津紫外可见分光光度计
托普 TZS-2Y-G 土壤墒情速测仪 GPS型
QRA4.U火焰检测器UV光电管西门子 多气体检测仪
多气体检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪钨冶炼硫酸钠废水资源化处理的方法
▪铝酸钙精炼渣的制备方法及其应用
▪铝业冶炼用碳足迹测算装置及方法
▪石墨化阴极及制备方法、铝电解槽、铝电解方法
▪富锂电解质提锂废渣回收利用的方法
▪快速熔炼中频炉
▪真空炉熔炼室内中频炉体翻转支撑装置
▪功能性含氟纳米磁珠的制备方法及应用
▪低密度高导热铜基石墨热沉材料的制备方法
▪地下铲运机及其智能驾驶系统和控制方法

报名参会
更多+

2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:123
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:98
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
10 制样室装修设计技巧
下载:83
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记