合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 掺杂失效的分析方法

掺杂失效的分析方法

725   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:29
本发明公开了一种掺杂失效的分析方法，包括步骤：提供一良品硅片；对良品硅片和待测样品硅片进行处理直至露出衬底表面；将良品硅片和待测样品硅片分别放置在一导电底座上并用锡焊固定；分别在良品硅片和待测样品硅片上选定一测试图形；进行测试条件设置；采用单针分别对良品硅片和待测样品硅片上的测试图形进行认证测试；对良品硅片和待测样品硅片的测试数据进行比较并判断待测样品硅片的掺杂是否失效。本发明能准确快速验证掺杂相关的失效，能大大减少测试图形尺寸、实现小尺寸图形的掺杂失效分析，能大大节省芯片失效分析的时间和确保失效分析的准确性，为明确工艺原因及提升相关产品的良率发挥重大作用。
声明：
“掺杂失效的分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：失效分析方法、装置、设备和存储介质
下一个：用于三维BGA倒封焊IC焊点失效的分析方法

与 “掺杂失效的分析方法” 相关技术

▪ 工业固废综合回收再利用
▪ 炭浆尾液深度净化与综合利用工程化技术及装备研究
▪ 铝硅合金法提纯硅
▪ 污酸治理方案
▪ 复杂难处理金矿无毒催化提金基础研究
▪ 碱性液硫酸法中和除铝技术
▪ 铬盐生产过程铝钒同步分离与高值化
▪ 溶剂萃取法从钒渣中提钒新工艺
▪ 高温相变蓄热型复合催化剂载体的制备方法
▪ 适用于汽车车身的6XXX铝合金及车身板制备工艺

相关失效分析设备推荐

硫化氢检测仪
铸铁石墨金相分析仪
定时定位土壤水分速测仪
YN-1100型土肥仪
环保在线扬尘监测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪工业固废综合回收再利用
▪炭浆尾液深度净化与综合利用工程化技术及装备研究
▪铝硅合金法提纯硅
▪污酸治理方案
▪复杂难处理金矿无毒催化提金基础研究
▪碱性液硫酸法中和除铝技术
▪铬盐生产过程铝钒同步分离与高值化
▪溶剂萃取法从钒渣中提钒新工艺
▪高温相变蓄热型复合催化剂载体的制备方法
▪适用于汽车车身的6XXX铝合金及车身板制备工艺

报名参会
更多+

2024固态电池前沿技术发展论坛
2024固态电池前沿技术发展论坛
2024年07月12日 ~ 14日
全国有色金属工业电化学第三届学术会议
全国有色金属工业电化学第三届学术会议
2024年07月12日 ~ 14日
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024年08月07日 ~ 09日
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:32
8 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记