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离子照射装置

761   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:57
本发明提供一种离子照射装置。其所具有的特征是离子束线具有始端和终端,并且在始端和终端之间至少配置1个离子束无损型束电流测定装置,又,所具有的特征是始端是离子源,终端是设置了半导体晶圆的处理室,在半导体晶圆的前段上配置离子束无损型束电流测定装置。
声明：
“离子照射装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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