本发明公开了一种梯形齿状太赫兹波滤波器。它包括太赫兹波输入端、太赫兹波输出端、高阻硅基体;高阻硅基体上刻蚀有三个梯形齿状凹槽结构,三个梯形齿状凹槽结构的圆心组成一个等边三角形,梯形齿状凹槽结构包括外层等腰梯形凹槽、圆环型凹槽、内层扇形凹槽,外层等腰梯形凹槽等间距排列在圆环型凹槽的外侧,内层扇形凹槽等间距排列在圆环型凹槽的内侧。本发明具有窄带带通滤波特性,结构简单新颖、尺寸小、体积小、重量轻、节约材料、便于制作及易于集成等优点。满足在太赫兹波医学成像、无损检测、太赫兹波通信系统、高速短距离无线互联通信等领域应用的要求。
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