本发明公开了一种结合涡流与永磁扰动柔性阵列技术的传感器,将阵列式涡流检测线圈蚀刻在聚酰亚胺薄膜上,以及将永磁扰动检测的磁敏元件阵列焊于柔性电路板上,依靠聚酰亚胺电路板的柔性特点,形成可弯曲的柔性阵列式传感器。柔性阵列式传感器包覆在橡胶骨架外表面,借助橡胶具有柔性可变形的特点,使得阵列式传感器可以与复杂曲面良好耦合,对铁磁性构件表面及次表面裂纹等缺陷进行无损检测。涡流接收线圈和永磁扰动检测元件均采用空间错排布局,提高阵列传感器的空间分辨率。沿扫查方向,涡流与永磁扰动阵列先后对同一缺陷进行检测,可以降低缺陷的漏检率和误报率。
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