本发明公开了一种封闭式自体循环的碱性蚀刻液循环再生系统,它包括依次连接的蚀刻线(1)、中转母液罐(2)、母液罐(3)、铜离子无损分离系统(4)、再生子液罐(5)、配液罐(6)、过滤器(7)和子液罐(8),铜离子无损分离系统还连接有一提铜装置(9),蚀刻线(1)、中转母液罐、母液罐、铜离子无损分离系统(4)、再生子液罐(5)、配液罐(6)、过滤器(7)、子液罐(8)、提铜装置(9)上均设置有检测对应部件的
检测仪,检测仪与控制器连接,控制器内设置有能将异常信息发给对应负责人的短消息模块。本发明的有益效果是:它具有药液回用率高、安全性能高的优点,实现了蚀刻液封闭式自体循环和平行式无损分离。
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