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基于石墨烯电荷耦合器件的辐射探测器

932   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:38
本发明公开了一种基于石墨烯电荷耦合器件的辐射探测器，由若干像素组成阵列，单个像素包括栅极、半导体衬底、绝缘层、源极、漏极、石墨烯薄膜和隔离。辐射粒子由背部入射后被半导体衬底吸收，产生与入射能量成正比的电子空穴对，其中少子积累到由脉冲栅压产生的深耗尽势阱中，石墨烯耦合出与势阱中空穴对应的等量电子，通过监测石墨烯电流读出势阱中的载流子数量，像素间设有隔离防止串扰。由于石墨烯薄膜的特殊性质，其通过电容性耦合有效收集载流子，产生的电流信号直接从单个像素结构输出，实现随机无损读出，无需采用传统电荷耦合器件的像素之间横向转移电荷方式，且石墨烯本身具有增益效应，从而提高辐射探测灵敏度和探测极限。
声明：
“基于石墨烯电荷耦合器件的辐射探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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