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6H-SiC材料应力沿表面法线分布信息的测量方法

880   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:32
本发明公开了一种6H-SiC材料应力沿表面法线分布信息的测量方法。其技术步骤是：将6H-SiC材料水平放置于x射线衍射仪的载物台；依次对6H-SiC材料中的(0002)晶面和()晶面进行对光；以不小于50nm的步长减小x射线透射深度，并在各透射深度下获取()晶面的布拉格角；将测得的一组布拉格角代入布拉格方程，得到一组()晶面的面间距；根据这一组面间距计算6H-SiC材料应力沿材料表面法线分布的信息。本发明具有测试成本低，且对被测材料无损伤的优点，可用于精确分析应力影响材料结晶质量的机理，提高材料结晶质量。
声明：
“6H-SiC材料应力沿表面法线分布信息的测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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