合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 无损检测技术

> 薄膜厚度和折射率的光学测量方法及其装置

薄膜厚度和折射率的光学测量方法及其装置

961   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:32
本发明公开了一种薄膜厚度和折射率的光学测量方法及其装置。将宽带光源出射的光通过干涉结构,产生干涉信号,再探测干涉信号的光谱信息,并将光谱信息进行傅立叶变换,即可得到产生干涉信号的二光路的光程差信息。在折射率已知的情况下,以同种方式在一个干涉臂中放置样品后再测一次,比较这两次光程差信息即可薄膜厚度。若折射率未知,需将薄膜旋转一个角度,进行第三次测量来计算出获得薄膜的折射率和厚度。本发明采用光学方法,对样品是无损的,分辨率为微米量级,测量范围可达到毫米量级。另外样品不要求严格贴附在样品台上,同时信息处理方法简单,对于透明或半透明薄膜可以方便实时地得到其厚度和折射率信息。
声明：
“薄膜厚度和折射率的光学测量方法及其装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
无损检测
上一个：用于3D NAND存储器的存储层薄膜厚度测量方法
下一个：全像光学储存系统中侦测与补偿损坏像素的方法

与 “薄膜厚度和折射率的光学测量方法及其装置” 相关技术

▪ 圆柱电池包膜设备及包膜方法
▪ 钠离子电池补钠装置和钠离子电池补钠方法
▪ 高熵掺杂实现性能卓越的无钴高镍层状正极材料
▪ 基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪ 支架安装方便的太阳能光伏组件
▪ 高强度铝合金材料及其制备方法
▪ 全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪ 含重金属的氨氮废水的处理方法
▪ 可智能调节的光伏板组件支架
▪ 多晶硅生产废水的处理回收系统

相关无损检测设备推荐

土壤墒情监测设备 土壤监测仪
粉尘浓度在线监测系统
土壤监测仪
多功能四气体检测仪
独立四站全自动比表面积和孔径分析仪系列（Quadrasorb evo）
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪圆柱电池包膜设备及包膜方法
▪钠离子电池补钠装置和钠离子电池补钠方法
▪高熵掺杂实现性能卓越的无钴高镍层状正极材料
▪基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪支架安装方便的太阳能光伏组件
▪高强度铝合金材料及其制备方法
▪全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪含重金属的氨氮废水的处理方法
▪可智能调节的光伏板组件支架
▪多晶硅生产废水的处理回收系统

报名参会
更多+

2024退役新能源器件循环利用技术交流会
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
2024年11月29日 ~ 12月01日
2024国际新型功能材料与器件会议
2024国际新型功能材料与器件会议
2024年12月06日 ~ 08日
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024年12月06日 ~ 08日
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024年12月13日 ~ 15日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:121
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:97
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:91
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:83
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:83
10 制样室装修设计技巧
下载:81
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记