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用于LED外延片光电参数测试的EL快速测试仪

1065   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:27
本实用新型属于半导体光电子器件封测技术领域，公开了一种用于LED外延片光电参数测试的EL快速测试仪，包括P型接触探针支架，所述P型接触探针支架固定有液态金属探针机构，所述液态金属探针机构包括液态金属存储容器、毛细管探针头和金属接触电极，所述毛细管探针头可拆卸安装于液态金属存储容器下端，所述毛细管探针头内部流有液态金属，所述金属接触电极的一端与液态金属接触，另一端连接信号处理系统。采用镓铟锡合金液态金属探针，使得测试探针与样品表面软接触，不易划伤样品表面，达到无损伤表面接触。并且液态金属在张力的作用下能够有效的控制接触面积稳定性，从而提高测试精度。
声明：
“用于LED外延片光电参数测试的EL快速测试仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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