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基于波长可调谐光场测量技术的三维形貌测量方法及装置

975   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:23
本发明为一种基于波长可调谐光场测量技术的三维形貌测量方法及装置，属于光学精密检测技术领域。测量装置由可调谐激光器、第一分光装置、反射镜、第一扩束系统、第二扩束系统、第二分光装置、相机组成；测量方法为使用测量激光照射在被测样品表面形成对应的干涉图，通过光场解算技术解算被测样品表面的相位分布，通过激光调谐技术产生多个测量光束实现量程拓展，最终完成物体表面三维形貌测量。本发明具有对被测表面粗糙度的适应范围宽、量程适配性强、非接触、高精度等特点，能够实现对待测件的无损检测，可广泛应用于半导体、光学、航空航天等高精密检测领域。
声明：
“基于波长可调谐光场测量技术的三维形貌测量方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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