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高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法

914   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:20
一种高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法，包括以下步骤：制作部分透光平板；在移相干涉仪输出的平行光束方向依次设置所述的部分透光平板和待测高反射率凹面锥形反射镜，所述的待测高反射率凹面锥形反射镜的锥面朝向移相干涉仪的出光方向；调整光路；利用移相干涉仪检测干涉条纹，得到所述的高反射率凹面锥形反射镜的面形信息。本发明具有操作简单，易于测量，对测量件无损伤等优点。
声明：
“高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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