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用于光学元件非球面微结构的同步检测方法

828   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:16
一种用于光学元件非球面微结构的同步检测方法，包括从一激光器出射一束激光并且经过一第一光阑后分成两束，其中一束入射到聚焦镜上后入射到积分球内的待测物体的表面上，所述积分球上安装有光电接收设备接收其散射光，并且在该入射到待测物体的光束的反射方向设置反射光接收器，其中反射的一束光经光吸收装置吸收并且进行光电转换后进入计算机作为参考光束，利用上述设备测得待测物体的散射辐射Rd，以及反射辐射Rs，然后计算得出基于尖锐压头印压的亚表面裂纹深度SSD和基于微小球形压头印压的裂纹深度SSD’。该方法不但所要求的设备结构简单、检测速度快，检测准确，可以达到纳米量级的表面微结构的检测，成本较低、对表面无损害、测量精度较高。
声明：
“用于光学元件非球面微结构的同步检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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