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在线检测硅片装置

931   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:12
本实用新型涉及产品检测技术领域，具体地说是一种在线检测硅片装置，包括外壳、第一感应器、第二感应器、轨道转换门、检测头、第一传送轨道和第二传送轨道，所述外壳设置于第一传送轨道上，所述外壳上设有观察门，所述检测头设置于外壳内侧顶部中心位置，检测头正对的第一传送轨道上设有第一感应器，所述第二传送轨道设置于第一传送轨道下方，且与第一传送轨道连接处设有轨道转换门，轨道转换门上设有第二感应器。本实用新型可以对硅片的完好性进行无接触、无损伤地检测，将带有裂纹的坏片自动分离出来。
声明：
“在线检测硅片装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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