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高反射率凹轴锥镜的面形检测系统及检测方法

1119   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:06
一种高反射率凹轴锥镜的面形检测系统及检测方法，检测系统包括：移相干涉仪、平面标准镜、工作台和调整架，待测凹轴锥镜固定在调整架上，其轴线与移相干涉仪的光轴平行且锥面朝向移相干涉仪的出光方向，调整架安装在工作台上，通过工作台在待测凹轴锥镜轴线方向上的定位扫描移动，以及移相干涉仪的测量光束在待测凹轴锥镜锥面的两次反射和平面标准镜的反射，测量得到待测凹轴锥镜上两个不同径向位置叠加的面形图，并解出待测凹轴锥镜各个不同径向位置的环带面形，最后得到待测凹轴锥镜的面形。本发明具有结构简单，适用性强，对测量件无损伤等优点。
声明：
“高反射率凹轴锥镜的面形检测系统及检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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