本发明涉及一种高精度光折变晶体干涉无损探伤设备,包括:分束镜布置在激光器的出射端,且其具有两个出射端;振镜布置在分束镜的其中一个出射端;1/2波片布置在分束镜的另一个出射端;偏振分光镜布置在1/2波片的出射端;第一1/4波片布置在偏振分光镜的出射端;第一场镜布置在第一1/4波片的出射端;光折变晶体布置在偏振分光镜的出射端;反光器件布置在偏振分光镜的出射端;第二1/4波片布置在反光器件的出射端与光折变晶体的入射端之间;光电探测器布置在光折变晶体的出射端;信号处理器分别与激光器、振镜和光电探测器电连接。有益效果是:激光激励和激光干涉仪用同一个光源;设备灵敏度高;能测量粗糙平面的振动信号。
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