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面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法及实现装置

1121   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:58
本发明公开一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法。它通过控制样品相对于探针进行微米级的初调运动及纳米级的精密运动,经检测反射激光光斑的位置变化信号的反馈控制步骤,通过检测样品逼近探针产生原子力作用时产生的光电检测信息进行反馈控制,达到控制样品无损逼近探针的目的。采用本发明可以避免碰撞逼近所造成的探针或样品损伤。
声明：
“面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法及实现装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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