本实用新型涉及一种无损检测物品表面的装置,其特征在于激光器的光轴上设置扩束准直透镜组;在被测物品反射光束的中心轴线上依次设置剪切元件、带镜头的线阵CCD;剪切元件与带镜头的线阵CCD固定在微位移平台上,带镜头的线阵CCD采集的图像信号输出至计算机,计算机的控制信号输出至微位移平台控制微位移平台的移动。利用线阵CCD推扫方法,可以根据待测样品表面设计相应的微位移平台的移动轨道,沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象,从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。
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