本发明提供了一种红外热成像快速无损检测薄膜厚度均匀性的方法。该方法利用加热装置提供均匀、稳定的热通量加热待测薄膜,加热后的薄膜向外发出红外辐射,红外摄像装置接收辐射信号,并将辐射信号转变成电信号,经后处理装置处理后,将待测薄膜表面的温度分布图显示出来。在某一特定时刻,待测薄膜表面的温度变化的百分比与厚度变化的百分比相等。待测薄膜表面温度无差异就说明薄膜厚度均匀。该方法可以快速、无损检测薄膜厚度均匀性,且无视待测薄膜是否导电、是否透明。可用于
锂电池极片、塑料袋的密封检测等。
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