本发明涉及微米孔孔壁检测方法,涉及一种微米孔通孔内壁质量的无损检测方法。将待测微米孔样件固定于装有电解质溶液的电解池中间,微米孔样件将电解池中电解质溶液分成两部分,电解质溶液只能从微米孔样件通孔实现互通。接着将直流电源正负极电极分别插入微米孔样件两侧溶液中,施加电压后,两个电极间通过微米孔形成一个离子电流通路。电解池中探针通过夹持装置装夹在推进装置上,通过推进装置推进探针进入微米孔内,检测探针在进入微米孔内时阻塞电流变化的情况,从而实现对微米孔内壁质量的检测。本发明根据检测到的阻塞电流信号变化,对电流信号的分析实现对微米孔通孔内壁质量的快捷有效无损检测,保障产品生产过程中的质量控制。
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