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可调谐的纳米天线及其制备方法

719   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:03
本发明提供可调谐的纳米天线，包括三层，上层的金属结构、中间层的单层石墨烯、底部的基底材料，上层的金属结构为蝴蝶结型结构，所述蝴蝶结型结构包括两个等腰梯形和一个正方形组成。可调谐的纳米天线的制备方法，包括如下步骤：利用化学气相沉积法方法在SiO2-基底上覆盖一层单层石墨烯；在单层石墨烯表面旋涂光刻胶；用电子束刻蚀技术完成结构的刻蚀和显影；采用真空电子束蒸镀技术实现金层的蒸镀；经过lift-off过程得到最终的纳米光学天线。尺寸小：该超材料结构厚度在几十纳米级别，更加有利于集成光学中的应用。信号强度高：在特定频率入射光的照射下，该纳米光学天线对磁场增强可达20000多倍，更便于信号的探测。调制效果明显。
声明：
“可调谐的纳米天线及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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