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用于硬质合金旋转锉表面制备TiAlSiN涂层的方法

1026   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:56
本发明公开了一种用于硬质合金旋转锉表面制备TiAlSiN涂层的方法，将硬质合金制成的旋转锉预处理后放入电弧离子镀膜设备中的转架杆上，以TiAlSi合金靶作为涂层中Ti、Al、Si元素来源，通过电弧电源的电流控制靶的溅射率；采用Ti靶作为制备底层和过渡层的Ti元素来源，采用高纯Ar作为主要离化气体，采用高纯N2作为反应气体，使其离化并与Ti、Al、Si元素结合，在旋转锉表面沉积形成TiAlSiN涂层。该TiAlSiN涂层为三层结构，即Ti/TiN/TiAlSiN，涂层总厚度为3.0微米，化学成分含量为Ti：20at.％，Al：30at.％，Si：8at.％，N：42at.％。涂层硬度42GPa，在室温干摩擦和对副为GCr15条件下，销盘实验测出的TiAlSiN涂层的摩擦系数为0.65，结合力为HF1级，具有很好的结合力和耐磨损性能。
声明：
“用于硬质合金旋转锉表面制备TiAlSiN涂层的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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