合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 碳化硅外延片去除外延再生衬底的方法

碳化硅外延片去除外延再生衬底的方法

669   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:52
本发明公开一种碳化硅外延片去除外延再生衬底的方法，包括：(1)测量外延片的总厚度、平整度最大值以及其外延层上多个点的厚度；(2)计算外延平均厚度、减薄厚度；(3)根据外延平均厚度，依次通过粗砂轮对外延层进行第一减薄处理以及通过细砂轮对外延层进行第二减薄处理，或者直接通过细砂轮对外延层进行第二减薄处理；(4)通过双面刷洗机对减薄处理后的外延片的两面进行冲刷；(5)对多个外延片同时进行至少一次化学机械抛光，以完全去除各外延片的外延层。本发明的方法能够加工更高效、精确更高的去除外延层，保留衬底厚度，并提高CMP的加工效率和质量，实现不合格外延片再生衬底的重利用。
声明：
“碳化硅外延片去除外延再生衬底的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：液晶聚合物树脂及其制备方法和应用
下一个：轴手性异吡喃酮-吲哚衍生物及其合成方法

与 “碳化硅外延片去除外延再生衬底的方法” 相关技术

▪ 燃料改性与烟气返回低NOX烧结技术
▪ 利用烧结除尘灰/高炉瓦斯灰生产氯化钾
▪ 微硅粉制备纳米白炭黑
▪ 利用钢渣制备多孔吸声材料及透水砖
▪ 球形纳米WC-Co复合粉及其硬质合金
▪ 高性能钨铜合金
▪ 金属连续流变挤压技术
▪ 极速金属3D打印技术
▪ 重金属污染治理及生态修复
▪ 机械曲柄摇杆机构扭簧疲劳试验机

相关化学分析设备推荐

X射线荧光光谱仪
土壤水分测量自动监测站
土壤化肥速测仪价格
声波提取器
瑞牛GA3000沼气分析仪批发现货
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪燃料改性与烟气返回低NOX烧结技术
▪利用烧结除尘灰/高炉瓦斯灰生产氯化钾
▪微硅粉制备纳米白炭黑
▪利用钢渣制备多孔吸声材料及透水砖
▪球形纳米WC-Co复合粉及其硬质合金
▪高性能钨铜合金
▪金属连续流变挤压技术
▪极速金属3D打印技术
▪重金属污染治理及生态修复
▪机械曲柄摇杆机构扭簧疲劳试验机

报名参会
更多+

2024先进钢铁钒钛产业链融通与绿色低碳发展论坛
2024先进钢铁钒钛产业链融通与绿色低碳发展论坛
2024年07月05日 ~ 07日
先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
2024年07月19日 ~ 21日
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月08日 ~ 10日
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024年08月08日 ~ 10日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记