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锌镓氧材料薄膜及其制备方法

823   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明提供了一种锌镓氧材料薄膜，所述锌镓氧材料薄膜中锌与镓的原子比小于1:2，所述锌镓氧材料薄膜为尖晶石结构。锌和镓的原子比例与传统的1：2相比，镓原子的占比更高，当Zn和Ga的化学计量比发生变化时，在一定范围内形成ZnGaO材料仍然可以保持尖晶石的ZnGa2O4晶体结构。这种锌镓氧材料薄膜制备的光电探测器件呈现出了更高的峰值响应度，且暗电流和响应时间的参数基本没有变化，为提升ZnGaO紫外探测器的性能参数提供了有效的方法。在光电器件的制备方面具有潜在的应用前景。并且，本发明提供的锌镓氧材料薄膜的制备工艺简单，反应过程容易控制。
声明：
“锌镓氧材料薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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