用于测量含离子流体的流量的流量传感器可以使用机械或电学技术来实现。机械流量传感器具有移动部件,并因此在一定时间之后变得不可靠并制造成本高。霍尔效应型流量传感器典型地需要可翻转磁场来补偿
电化学效应。包括这种传感器的流量计使用电磁体。描述了一种流量传感器(100),该流量传感器使用电容性传感器(10)和处理器(12),根据电容和磁场变化来确定流率。这样的流量传感器可以使用CMOS技术来实现。流量传感器可以在永磁体产生的磁场中操作并且可靠地测量流量。
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