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具有固态发生器的微波等离子体处理容器设备和调节方法

814   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明涉及在聚合物容器(2)的内壁上用等离子体辅助化学气相沉积法沉积阻挡薄层的设备(1)及设备调节方法。设备(1)具有：导电腔体(4)；安装在腔体(4)中的壳体(5)；在壳体(5)中注入前驱气体的装置(9)；微波发生器(15)；使微波在壳体(5)中散射的装置(24)，其连接于发生器(15)以在前驱气体中激励等离子体并维持等离子体；特征在于：微波发生器(15)是固态发生器，配有微波发射频率调节器(22)；其具有传感器(13)，布置成测量表征容器(2)中产生的等离子体的能量强度的物理量；其具有控制单元(14)，连接于传感器(13)和微波发生器(15)，控制单元(14)被编程以根据传感器(13)测得的表征能量强度的物理量的值、通过频率调节器(22)来调节微波发射频率。
声明：
“具有固态发生器的微波等离子体处理容器设备和调节方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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