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水电阻率探头的安装结构

1026   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:06
本实用新型涉及一种水电阻率探头的安装结构，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括U型连接接头，所述U型连接接头两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水口下方，所述U型连接接头一接口与QDR外槽出水口通过连接管连接，所述U型连接接头另一接口与水电阻率探头接头连接，所述水电阻率探头接头内设置水电阻率探头。所述连接管、U型连接接头和水电阻率探头接头分别为PVC材质制成件。本申请增加了水流过水电阻率探头时的流速，提高了水电阻率探头测试反应快速和准确性；能够对晶圆化学清洗后的冲水效果进行实时的监控，防止有冲水不彻底、化学试剂残留等导致对芯片质量的影响。
声明：
“水电阻率探头的安装结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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