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MEMS气体传感器

899   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:04
本公开涉及一种MEMS气体传感器(10)，其尤其包括光声传感器(10)，光声传感器(10)包括热发射器(16)和声换能器(17)，热发射器(16)和声换能器(17)布置在相互测量腔(18)内。热发射器(16)包括半导体衬底(11)和由半导体衬底(11)支撑的加热结构(12)。加热结构(12)包括加热元件(13)。MEMS气体传感器(10)还包括热耦合到加热元件(13)的化学传感器(14)，化学传感器(14)包括气体吸附层(15)。
声明：
“MEMS气体传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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