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大面积的光学性能合成多晶金刚石窗口

1046   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:17:30
一种多晶化学气相沉积(CVD)金刚石晶片包括：等于或大于125mm的最大线性尺寸；等于或大于200μm的厚度；以及在室温下(标称298K)在多晶CVD金刚石晶片的至少中心区域上测量的以下特性中的一个或两个，所述中心区域是圆形的，以多晶CVD金刚石晶片的中心点为中心，并且所述中心区域的直径是多晶CVD金刚石晶片的最大线性尺寸的至少70％：在10.6μm处，吸收系数≤0.2cm-1；以及在145GHz时介电损耗系数为tanδ≤2×10-4。
声明：
“大面积的光学性能合成多晶金刚石窗口” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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