合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 单晶硅传感器芯片的加工方法

单晶硅传感器芯片的加工方法

850   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:17:30
本发明公开了一种单晶硅传感器芯片的加工方法，该单晶硅传感器芯片的加工方法包括以下步骤：晶圆处理工序，取适量的研磨粒，并且勾兑一定的水分，形成研磨液，利用研磨液对晶圆进行双面研磨之后，清洗并氧化晶圆的表面，除去晶圆表面的研磨残留物，使得晶圆的表面进行钝化，降低晶圆表面的活性；取框架单元，该框架单元具有带、环状的框架以及该被加工物；根据第一参数规范和测试条件得到第一测试结果；本发明单晶硅传感器芯片的加工方法，采用湿法腐蚀对晶片表面进行处理，其是通过化学蚀刻液和被刻蚀物质之间的化学反应将被刻蚀物质剥离下来的刻蚀方法，选择性高、均匀性好、对晶片损伤少，具有优异的使用前景。
声明：
“单晶硅传感器芯片的加工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：一体化弃井地面挤注系统
下一个：改变Q值的卡尔曼滤波方法、装置及可读存储介质

与 “单晶硅传感器芯片的加工方法” 相关技术

▪ TC4，TC16钛合金紧固件用棒丝材
▪ 集成式重介质选矿机组
▪ 利用低品位磷矿生产土壤调理剂/重金属钝化剂技术
▪ 棕刚玉定向破碎自动化生产线
▪ 智能型火试金灰吹炉
▪ 砷锑金矿矿浆电解
▪ 氧化镍矿金属化还原-磁选镍铁新技术
▪ 废气处理用的活性炭吸附一体机
▪ 破碎机或粉磨机用锤头或辊套、柱碎机及柱磨机
▪ 基于稀疏贝叶斯学习与功率谱分离的风机叶片故障检测方法

相关化学分析设备推荐

土壤测试仪
多气体检测仪
多气体检测仪
土壤养分速测仪库号：M341262
土壤重金属检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪TC4，TC16钛合金紧固件用棒丝材
▪集成式重介质选矿机组
▪利用低品位磷矿生产土壤调理剂/重金属钝化剂技术
▪棕刚玉定向破碎自动化生产线
▪智能型火试金灰吹炉
▪砷锑金矿矿浆电解
▪氧化镍矿金属化还原-磁选镍铁新技术
▪废气处理用的活性炭吸附一体机
▪破碎机或粉磨机用锤头或辊套、柱碎机及柱磨机
▪基于稀疏贝叶斯学习与功率谱分离的风机叶片故障检测方法

报名参会
更多+

2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024年08月07日 ~ 09日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记