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具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的制备方法

823   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:17:29
本发明公开了一种具有自极化效应的铌镁酸铅－钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法，该方法是采用化学溶液沉积法：溶液由醋酸铅、醋酸镁、乙醇铌、正丁醇钛、乙二醇甲醚和乙酰丙酮组成，配制成0.1－0.3M的前驱体溶液；采用旋转镀膜方式得到凝胶膜，然后在快速退火中分段进行热处理，形成薄膜材料；重复该过程，直至得到理想厚度的薄膜材料。本发明的优点是：整个工艺过程操作简便、成本较低、可制备大面积均匀薄膜。采用本发明方法在LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si基片上得到的薄膜，经测量不施加偏场时的热释电系数可达1.6×10－8Ccm－2K－1。
声明：
“具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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