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真空隔热的MEMS流量传感器及其制作方法

1019   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:17:29
本发明公开了一种真空隔热的MEMS流量传感器及其制作方法，该流量传感器包括：衬底，设有真空密闭隔热腔体；第一介质层，形成于衬底的上表面；加热元件、感温元件及金属电极，形成于第一介质层的上表面，其中感温元件对称分布在加热元件的两侧，加热元件及感温元件局部位于隔热腔体的上方；第二介质层，覆盖加热元件、感温元件、金属电极及通孔，且局部刻蚀出接触孔。本发明的MEMS流量传感器利用低压力化学气相沉积法的“保形效应”形成真空密闭隔热腔体，一方面可提高隔热腔体的隔热性能，另一方面可减少被测流体与隔热腔体之间的对流热损失，从而有利于降低器件功耗，并增大上下游感温元件之间的温差，有效提高器件灵敏度。
声明：
“真空隔热的MEMS流量传感器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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