本发明提供了一种钽材料EBSD样品的表面处理方法,包括:依次使用400#砂纸与1000#砂纸对钽材料的测试面进行第一次机械抛光处理与第二次机械抛光处理,得到经初步处理的钽材料;对所得经初步处理的钽材料进行第三次抛光处理;使用第一混合酸液对所得经第三次抛光处理后的钽材料进行第一次化学抛光处理;使用第二混合酸液对所得经第一次化学抛光处理后的钽材料进行第二次化学抛光处理;清洗所得经第二次化学抛光处理后的钽材料,完成钽材料EBSD样品的表面处理。本发明所述表面处理方法操作简单,能够对具有极高抗腐蚀性的钽材料进行表面处理,从而实现钽材料EBSD样品的表面处理。
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