一种用于制备超级电容器RuO2电极材料的直流-示差脉冲组合电沉积技术, 采用纯度大于99.95%的金属钽箔作为基片,配置RuCl3·3H2O、SnCl2和NaNO3的混合 溶液,浓度分别为1~5mmol/L、0.2~1mmol/L和10~200mmol/L,经充分搅拌、 静置。以石墨做阳极,金属钽片为阴极,先用1~3mA/cm2直流电流沉积0.5~1h, 再采用示差脉冲电流沉积沉积2~3h,电压脉冲宽度为1~10sec,脉冲周期为2~ 20sec,振幅为0.01~0.02mA/cm2,每点电压增益为0.005~0.01mA/cm2,其终止电 流密度为5~8mA/cm2。制备RuCl3·3H2O薄膜前驱体,薄膜自然凉干后经过200~ 500℃处理,升温速率为10℃/s,保温时间为2-3h。本发明首次提出采用直流- 示差脉冲组合电沉积技术制备RuO2薄膜,工艺简单,操作简便,具有一定的工业 价值。用CHI660C
电化学测试仪对薄膜材料的电化学性能进行测试,附着力的测 试采用GB5210-82拉开法,测定比电容达720F/g,附着力达11.3MPa。
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