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微纳米流体系统及其制备方法

724   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:37
本发明公开了一种制备微纳米流体系统的方法。该方法,包括如下步骤:1)在基底上制备薄膜热电偶阵列,得到薄膜热电偶阵列层;2)在所述步骤1)制备得到的薄膜热电偶阵列层上制备一层绝缘层a,并在所述绝缘层之上制备一层场调制层;3)在所述步骤2)制备得到的场调制层上制备一层绝缘层b,并将所述绝缘层b上制备一层微纳米通道层,封装后得到所述微纳米流体系统。本发明制作的微纳米流体测试系统带有局域温度测量与控制、可进行直流及高频电磁测量。该系统功能多样、结构紧凑且测试精度高,在物理、化学、生物等研究领域都有很好的应用前景。
声明：
“微纳米流体系统及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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