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基于场效应晶体管的气体传感器及其制备方法

617   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:11:51
本发明公开了一种基于场效应晶体管的气体传感器及其制备方法，气体传感器包括衬底、绝缘层、有源层、源极和漏极，所述绝缘层设置在所述衬底和有源层之间，所述源极和漏极分别间隔设置在所述有源层远离所述绝缘层的一侧，所述有源层的材料为二氧化钛纳米纤维或氧化锌纳米纤维，易于和VOC气体发生化学反应，增强了气体检测反应速度和灵敏度，且比表面积大，增加了感应面积，可在相同的反应速度级别和灵敏度精度下将传感器尺寸做的更小，而且二氧化钛纳米纤维或氧化锌纳米纤维通过静电纺丝技术制备，制备方法简单，静电纺丝装置工艺简单、生产效率高，有利于气体传感器在消费电子中的应用，以及在更多应用场景中的普及。
声明：
“基于场效应晶体管的气体传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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