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微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片及其制备方法

894   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:04:30
本发明属于光学传感检测技术领域，具体为一种微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片及其制备方法。本发明光学传感芯片包括：两块平面反射镜、中间有中空微泡的石英微管、两根方形石英管；两块平面反射镜上、下平行放置，两根方形石英管设置于两块平面反射镜左右两边，保证两块反射镜保持高度平行；中空石英微泡设置于两块平面反射镜之间，两端与平面反射镜之间粘合固定，形成微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片；平面反射镜表面镀有特定反射率的金属薄膜或介质薄膜。本发明基于微泡的透镜效应，使传感芯片具备高灵敏度、低模式体积和高品质因子的特性，同时集成天然的微流通道，实现低浓度化学分子或者无标记生物分子传感。
声明：
“微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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