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MBE外延片生产方法

1150   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:54:07
本发明公开了一种MBE外延片生产方法，包括如下步骤：步骤S1、衬底处理、步骤S2、生长介质层、步骤S3、热化学处理、步骤S4、生长氮化物润湿层、步骤S5、依次生长AlGaN缓冲层、n‑GaN层、InGaN/GaN MQWs量子阱层和p‑GaN层、步骤S6、检测合格后，包装。本发明公开的MBE外延片生产方法工艺简单，操作控制方便，耗能低，对设备依赖性小，适合工业化大规模生产；通过该生产方法制成的MBE外延片表面质量好、缺陷少，衬底易去除，电化学性能优异。
声明：
“MBE外延片生产方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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