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高效和高质量的微尺度金属电沉积方法

674   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:36:08
一种高效和高质量的微尺度金属电沉积方法，是为了解决基于电化学沉积的金属微构件拾取过程中难以实现高效和高质量的微尺度金属电沉积问题。首先，通过受力分析，计算出能够实现基于电化学的金属微构件的可靠拾取所需要沉积的微尺度金属的最小高度；然后，利用COMSOL仿真分析微尺度金属电沉积的影响因素，得出高效、高质量的电沉积参数范围；其次，基于反向传播神经网络(BP)，建立影响因素与微尺度金属电沉积速率之间的关系；最后，以确定的电沉积速率为目标值，采用遗传算法优化了微尺度电沉积的工艺参数，并通过实验验证，实现高效率和高质量的沉积。本发明适用于微尺度金属电沉积。
声明：
“高效和高质量的微尺度金属电沉积方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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