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用于处理基板的装置和方法

1103   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:33:28
本发明涉及用于处理基板的装置和方法。用于处理基板的方法包括：通过在旋转基板的情况下将化学溶液分配到基板上来处理基板，其中，与基板或化学溶液直接接触的接地导电构件包括在支承和旋转基板的支承单元中，在接地导电构件与地之间的接地路径上设置有电流检测器，并且基于由电流检测器检测的电流值控制基板的处理条件。
声明：
“用于处理基板的装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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