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晶圆背面金属层异常处理方法

700   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:47
本发明涉及一种晶圆背面金属层异常处理方法，本发明的方法对晶圆蒸镀良率进行检测分析，再对晶圆背面刻蚀处理，处理完成后进行二次蒸镀，从而达到产品工艺需求，本发明的方法可在晶圆背面蒸镀发生异常时，用湿法化学手段对晶圆背面金属层进行刻蚀去除，防止了现有技术中晶圆背面异常处理不当，造成整片晶圆报废的情况，从而节约了生产成本，提高了产品良率。
声明：
“晶圆背面金属层异常处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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